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恒歌高壓氣體專用過濾器:半導(dǎo)體氣體輸送系統(tǒng)的關(guān)鍵選擇與應(yīng)用!

作者:燒結(jié)過濾器專家 發(fā)布時(shí)間:2024-12-27 10:55:02人氣: 來源:金屬燒結(jié)過濾器廠家

一、半導(dǎo)體行業(yè)的氣體純凈度需求

在半導(dǎo)體制造的微觀世界里,哪怕是極其微小的雜質(zhì)顆粒都可能導(dǎo)致芯片出現(xiàn)嚴(yán)重的缺陷,從而影響整個(gè)電子產(chǎn)品的性能和可靠性。因此,對(duì)于高壓高純氣體輸送系統(tǒng)中的氣體純凈度有著嚴(yán)苛的要求,這使得專業(yè)的氣體過濾設(shè)備成為了關(guān)鍵所在,而恒歌 HF 系列高壓氣體專用過濾器憑借其卓越的性能,成為了眾多半導(dǎo)體企業(yè)的優(yōu)選方案。


二、恒歌 HF 系列過濾器的結(jié)構(gòu)優(yōu)勢(shì)

(一)堅(jiān)固耐用的 316L 不銹鋼材質(zhì)

HF 系列過濾器采用 316L 不銹鋼構(gòu)建其主體結(jié)構(gòu),這種材質(zhì)具有出色的抗腐蝕性能,能夠抵御半導(dǎo)體制造過程中可能接觸到的各種腐蝕性化學(xué)物質(zhì)的侵蝕。無論是酸性還是堿性的環(huán)境,都能保證過濾器的長期穩(wěn)定運(yùn)行,有效防止因材質(zhì)腐蝕而導(dǎo)致的雜質(zhì)泄漏問題,確保氣體的純凈度始終符合高標(biāo)準(zhǔn)要求。


(二)高壓力設(shè)計(jì)與輕量化的平衡

其 50Mpa 的設(shè)計(jì)壓力,充分滿足了半導(dǎo)體高壓氣體輸送系統(tǒng)的壓力需求,能夠承受系統(tǒng)運(yùn)行過程中的高壓沖擊,保證過濾過程的安全與穩(wěn)定。同時(shí),通過精巧的工程設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了相對(duì)較輕的重量,這不僅便于運(yùn)輸和安裝,還在一定程度上減輕了系統(tǒng)的整體負(fù)荷,為半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的布局和運(yùn)行提供了更多的靈活性和便利性。

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三、卓越的過濾性能與系統(tǒng)保護(hù)作用

(一)高效的雜質(zhì)去除能力

該過濾器能夠精準(zhǔn)地高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧以及碳?xì)浠衔锏雀黝愲s質(zhì)。塵埃顆粒可能會(huì)在芯片制造過程中造成短路等物理缺陷;鐵銹可能會(huì)引入金屬離子污染,影響半導(dǎo)體的電學(xué)性能;油霧和碳?xì)浠衔飫t可能在高溫環(huán)境下發(fā)生化學(xué)反應(yīng),對(duì)芯片表面造成化學(xué)腐蝕。HF 系列過濾器通過其精密的過濾結(jié)構(gòu)和優(yōu)質(zhì)的過濾材料,將這些潛在的污染源一網(wǎng)打盡,確保輸送至半導(dǎo)體制造工藝環(huán)節(jié)的氣體純凈度達(dá)到極高的水平。


(二)系統(tǒng)免受污染與穩(wěn)定運(yùn)行保障

通過有效去除雜質(zhì),恒歌 HF 系列過濾器為半導(dǎo)體氣體輸送系統(tǒng)提供了堅(jiān)實(shí)的保護(hù)屏障,避免了因雜質(zhì)積累而導(dǎo)致的管道堵塞、閥門損壞以及設(shè)備故障等問題。這不僅延長了整個(gè)系統(tǒng)的使用壽命,減少了設(shè)備的維修和更換成本,而且能夠保障氣體輸送的穩(wěn)定性和連續(xù)性,確保半導(dǎo)體制造過程的高效、穩(wěn)定運(yùn)行,提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品良率。


四、濾芯的可更換設(shè)計(jì)與維護(hù)便利性

HF 系列過濾器的濾芯采用可更換式設(shè)計(jì),這一特點(diǎn)極大地提高了其使用的經(jīng)濟(jì)性和維護(hù)的便捷性。當(dāng)濾芯經(jīng)過一段時(shí)間的使用,其過濾效率下降或者達(dá)到使用壽命時(shí),操作人員可以迅速、簡便地更換新的濾芯,使過濾器迅速恢復(fù)到最佳的過濾狀態(tài)。這種易于維護(hù)的特性,降低了對(duì)專業(yè)技術(shù)人員的依賴程度,減少了設(shè)備停機(jī)時(shí)間,有助于半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)提高生產(chǎn)效率,降低運(yùn)營成本,在激烈的市場(chǎng)競爭中占據(jù)優(yōu)勢(shì)地位。


綜上所述,恒歌 HF 系列高壓氣體專用過濾器以其在結(jié)構(gòu)、過濾性能以及維護(hù)便利性等方面的突出優(yōu)勢(shì),成為了半導(dǎo)體氣體輸送系統(tǒng)的關(guān)鍵選擇。它在保障半導(dǎo)體制造工藝所需的高純氣體質(zhì)量、保護(hù)系統(tǒng)設(shè)備、提高生產(chǎn)效率等方面發(fā)揮著不可或缺的作用。

 


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客戶評(píng)價(jià)

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  • 我們定制采購的是氣體過濾器,防止回火,要求能承受和抑制氫氣回火,能精準(zhǔn)控制幾種氣體流速,最大進(jìn)口壓力:0.025bar 最小出口壓力:0.01bar;恒歌生產(chǎn)的不銹鋼濾芯質(zhì)量完成超出我們預(yù)期,各種完全達(dá)標(biāo),做工精細(xì)!
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