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半導(dǎo)體氣體過(guò)濾器
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半導(dǎo)體燒結(jié)微米級(jí)不銹鋼過(guò)濾器_氣體專用過(guò)濾器_潔凈氨氣濾芯

  • 0F系列在線式專用氣體過(guò)濾器,專為高流量電子級(jí)氣體超純凈化設(shè)計(jì),過(guò)濾精度高達(dá)0.003μm。其結(jié)構(gòu)緊湊、強(qiáng)度高,與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容,尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼,確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容性。
  • 產(chǎn)品詳情

0F系列在線式專用氣體過(guò)濾器,專為高流量電子級(jí)氣體超純凈化設(shè)計(jì),過(guò)濾精度高達(dá)0.003μm。其結(jié)構(gòu)緊湊、強(qiáng)度高,與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容,尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼,確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容性。它適用于大流量特種氣體供應(yīng)及超高純度氣棒,在半導(dǎo)體、LED、光伏及MEMS設(shè)備連接中提供超高純度過(guò)濾,滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

2適合高溫應(yīng)用

3、超高顆粒攔截率

4、高流量、高強(qiáng)度、穩(wěn)定可靠

5、適用于多種工藝氣體

6可選其它點(diǎn)位在線安裝,方便快捷

7、100%完整性測(cè)試

8、100%氨氣檢漏測(cè)試

產(chǎn)品參數(shù)

濾芯材質(zhì)316L不銹鋼粉末燒結(jié)殼體材質(zhì)316L不銹鋼
最大進(jìn)氣壓力207bar最大工作壓差5.2bar
氦氣驗(yàn)證泄漏率2x10-10cc/min氦氣測(cè)試泄露率1x10-10cc/min
表面處理外表面Ra < 1.6μm最高使用溫度惰性氣體400-500°C
內(nèi)表面Ra < 0.2μm腐蝕性氣體,反應(yīng)氣體50°C
顆粒攔截效率99.9999999%(9LRV)@30slpm下游潔凈度0.03particles/liter
@>0.01um,30slpm
顆粒攔截粒徑≧0.003μm


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