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如何選擇合適自己的半導(dǎo)體氣體過濾器呢?

作者:燒結(jié)過濾器專家 發(fā)布時(shí)間:2024-11-23 11:21:16人氣:924 來源:金屬燒結(jié)過濾器廠家

要選個(gè)適合自己的半導(dǎo)體氣體過濾器,你可以這么來。

首先呢,你得搞清楚自己要過濾啥氣體,就像做飯得知道食材一樣,半導(dǎo)體工藝?yán)镉玫臍怏w可不少,像氫氣、氮?dú)膺@些。而且每種氣體的脾氣還不一樣呢。比如氫氣,它愛 “發(fā)火”(易燃易爆),那選過濾器的時(shí)候,材料和密封得特別好,別讓它有機(jī)會(huì) “鬧事”;氧氣呢,氧化性強(qiáng),過濾器得能抗住它的 “氧化攻擊”,不然很容易就老化不好使啦。


還有啊,你得知道這些氣體里有啥雜質(zhì),是有小顆粒,還是有水、油、有機(jī)物或者金屬離子這些東西。要是雜質(zhì)多,那你就得挑個(gè)過濾精度高、處理能力強(qiáng)的過濾器。要是有像酸性或者堿性這種特別的雜質(zhì),那過濾器還得有能把它們吸走的功能。


過濾精度也很重要哦,如果是做芯片前面那些精細(xì)活兒,像光刻、蝕刻啥的,對氣體純度要求超高,過濾精度起碼得 0.001μm 往上;要是后面封裝測試這些,要求沒那么高,但 0.01μm 左右也是要的。

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再說說工藝參數(shù)吧,你得看看自己要用多少氣體,也就是流量。要是流量大,就像在那種大型生產(chǎn)線上,那得選個(gè)大通量的過濾器,就好比大門得夠?qū)?,?/span>(氣體)才能順利通過,而且還不能讓壓力損失太大,不然就會(huì)影響干活兒效率。要是在小實(shí)驗(yàn)室,流量小,那小一點(diǎn)的過濾器就夠啦,還能省點(diǎn)地方和錢呢。


壓力也得考慮如果氣體壓力高,那過濾器得能扛得住,不然炸了可就糟啦。要是壓力低呢,就要注意過濾器別太 “擋路”,不然氣體都過不去。還有溫度,要是在高溫環(huán)境下干活兒,像有些工藝溫度挺高的,那過濾器得耐高溫,金屬做的過濾器一般比較抗熱。要是低溫環(huán)境,也得看看過濾器會(huì)不會(huì)被凍壞。


過濾器本身的性能也不能馬虎,過濾效率得高,就像個(gè)厲害的小衛(wèi)士,能把雜質(zhì)都擋在外面。壓力損失得小,不然太費(fèi)勁兒(耗能)。還有納污能力也挺重要,就像垃圾桶一樣,能裝得多,換得就不那么勤,能省不少維護(hù)的事兒。


最后就是材質(zhì)和結(jié)構(gòu)啦,材質(zhì)就像衣服一樣,得選合適的。不銹鋼挺結(jié)實(shí),還耐腐蝕、耐高溫,很多時(shí)候都能用。聚四氟乙烯化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,不容易吸附雜質(zhì),對純度要求高的氣體過濾很合適。鎳能抗氧化、耐腐蝕,活性炭能吸有機(jī)物。結(jié)構(gòu)呢,有的濾芯是折疊式的,就像手風(fēng)琴一樣,這種納污能力一般比較強(qiáng),平板式的就相對弱一點(diǎn)。你可以根據(jù)自己的需要來挑。

 


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客戶評價(jià)

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