TF系列工藝氣體專用過濾器、專為半導體領域設計、精準清除UHP超純氣流微粒、保障生產純凈度。其安裝簡便、僅需氣路對接與螺母緊固、避免焊接風險、確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造、結構緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現卓越微粒過濾效率、是工藝氣體凈化的理想之選。

產品特點

? 整體316L不銹鋼結構

? 高通量、低阻力

? 超高顆粒攔截率

? 耐高溫、耐高壓、耐腐蝕、適用于多種工藝氣體、適用于潔凈室環(huán)境內制造、測試、包裝100%完整性測試

? 100%氨氣檢漏測試

T型過濾器

·聯合閥帽設計，更安全

·工作溫度:-28~+482℃

.工作壓力可達:414bar (6000psig)可選配底部旁通道，可用于取樣和清洗

技術參數