在半導(dǎo)體制造過程中,工藝氣體的潔凈程度是決定產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵因素之一。哪怕是微小的顆粒雜質(zhì),都可能對精密的半導(dǎo)體器件造成不可逆的影響。恒歌的點氣體專用過濾器(如 0F 系列在線式專用氣體過濾器)以及哈氏合金在線式氣體過濾器,憑借出色的性能,成為半導(dǎo)體工藝氣體超純凈化的得力助手。
恒歌 0F 系列在線式專用氣體過濾器作為點氣體專用過濾器中的佼佼者,是專為高流量電子級氣體超純凈化打造的。它有著高達 0.003μm 的過濾精度,能精準(zhǔn)捕捉氣體中的微小顆粒,為工藝氣體的潔凈度保駕護航。該過濾器結(jié)構(gòu)緊湊且強度高,這一特點讓它在安裝和使用過程中更加靈活可靠。同時,它與多種半導(dǎo)體工藝氣體都能良好兼容,對于大宗氣體及惰性氣體的過濾更是不在話下。
從材質(zhì)來看,0F 系列在線式專用氣體過濾器采用全焊接 316L 不銹鋼外殼,濾芯材質(zhì)為 316L 不銹鋼粉末燒結(jié),殼體和墊片也都是 316L 不銹鋼材質(zhì)。這樣的材質(zhì)選擇,確保了它能與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體兼容,避免了材質(zhì)與氣體發(fā)生反應(yīng)而污染氣體的情況。而且整體 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu),讓它能夠適應(yīng)高溫環(huán)境,在使用過程中穩(wěn)定可靠。
在性能方面,它不僅有超高的顆粒攔截率,還具備高流量的特點,能滿足大流量氣體過濾的需求,同時運行穩(wěn)定,不會給氣體傳輸帶來過多阻礙。安裝也十分便捷,可選其它點位在線安裝。更重要的是,每一個過濾器都經(jīng)過了 100% 完整性測試和 100% 氨氣檢漏測試,從生產(chǎn)源頭保證了產(chǎn)品的質(zhì)量,讓用戶使用起來更加放心。
這款點氣體專用過濾器適用于大流量特種氣體供應(yīng)及超高純度氣棒,在半導(dǎo)體、LED、光伏及 MEMS 設(shè)備連接中,能提供超高純度過濾,很好地滿足了閥歧管箱、氣柜等工藝需求。
如果您需要點氣體專用過濾器或者哈氏合金在線式氣體過濾器,恒歌都能為您提供合適的產(chǎn)品。若您還想了解產(chǎn)品的其他信息,比如具體適用的更多工藝場景,歡迎告知。