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不銹鋼高純高壓卡套過(guò)濾器

  • 不銹鋼工藝氣體專用過(guò)濾器、專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì)、精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒、保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡(jiǎn)便、僅需氣路對(duì)接與螺母緊固、避免焊接風(fēng)險(xiǎn)、確保密封無(wú)憂。采用頂級(jí)316L不銹鋼全材打造、結(jié)構(gòu)緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現(xiàn)卓越微粒過(guò)濾效率、是工藝氣體凈化的理想之選。
  • 產(chǎn)品詳情

T型卡套過(guò)濾器專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì),具備以下特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì):

產(chǎn)品特點(diǎn)

● 整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu):堅(jiān)固耐用,耐腐蝕性強(qiáng),適用于多種工藝氣體。

● 高通量、低阻力:結(jié)構(gòu)緊湊輕盈,大幅降低壓力損耗,確保氣體流通順暢。

● 超高顆粒攔截率:精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒,保障生產(chǎn)純凈度,過(guò)濾精度高達(dá)0.003μm,顆粒攔截效率達(dá)99.9999999%。

● 耐高溫、耐高壓:工作溫度范圍為-28℃至482℃,工作壓力可達(dá)414bar(6000psig),適用于潔凈室環(huán)境內(nèi)的制造、測(cè)試和包裝。

● 安裝簡(jiǎn)便:僅需氣路對(duì)接與螺母緊固,避免焊接風(fēng)險(xiǎn),確保密封無(wú)憂。

● 100%完整性測(cè)試與氨氣檢漏測(cè)試:確保過(guò)濾器的可靠性和安全性。

應(yīng)用場(chǎng)景

● 半導(dǎo)體制造:用于高純氣體輸送系統(tǒng),確保氣體的超高純度,保障半導(dǎo)體生產(chǎn)的純凈度。

● 潔凈室環(huán)境:適用于潔凈室內(nèi)的制造、測(cè)試和包裝過(guò)程,防止微粒污染。

● 實(shí)驗(yàn)室及科研:為高校實(shí)驗(yàn)室、科研檢測(cè)單位提供高純氣體過(guò)濾,確保實(shí)驗(yàn)精度。

安裝和維護(hù)

● 安裝簡(jiǎn)便:僅需進(jìn)行氣路對(duì)接與螺母緊固,無(wú)需焊接,避免焊接風(fēng)險(xiǎn),確保密封性。

● 維護(hù)便捷:過(guò)濾元件易于更換,不需拆卸管路即可清洗和更換濾芯。

T型卡套過(guò)濾器憑借其卓越的性能和便捷的安裝維護(hù)特點(diǎn),成為半導(dǎo)體領(lǐng)域工藝氣體凈化的理想選擇。


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