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半導(dǎo)體氣體過濾器
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316L氣體大流量過濾器_高溫超純氣體過濾器_半導(dǎo)體過濾器

  • BF系列大宗氣體專用過濾器,專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計(jì),采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損,過濾精度高達(dá)0.003um,滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造,是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決方案。
  • 產(chǎn)品詳情



BF系列大宗氣體專用過濾器、專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計(jì)、采用全316L不銹鋼精密打造、多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損、過濾精度高達(dá)0.003μm、滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造、是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決方案。

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

? 高通量、低阻力

? 超高顆粒攔截率

? 耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

? 適用于多種工藝氣體

? 適用于潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝

? 100%完整性測試

? 100%氨氣檢漏測試

產(chǎn)品參數(shù)

濾芯材質(zhì)316L不銹鋼粉末燒結(jié)殼體材質(zhì)316L不銹鋼
最大進(jìn)氣壓力207bar最大工作壓差5.2bar
氦氣驗(yàn)證泄漏率2x10-10cc/min氦氣測試泄露率1x10-10cc/min
表面處理外表面Ra < 1.6μm最高使用溫度惰性氣體400-500°C
內(nèi)表面Ra < 0.2μm腐蝕性氣體,反應(yīng)氣體50°C
顆粒攔截效率≥99.9999999%(9LRV)@30slpm下游潔凈度≥0.03particles/liter
@>0.01um,30slpm
顆粒攔截粒徑≧0.003μm


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